本发明属于气体开关技术领域，具体涉及一种低电感小尺寸三电极场畸变气体开关。为解决现有开关由于尺寸较大导致放电支路电感较大且开关放电时有放电烧蚀产物溅射以致降低其绝缘强度，使得开关寿命短、可靠性低的技术问题，本发明提供了一种低电感小尺寸三电极场畸变气体开关，包括绝缘外筒、连接上主电极的上盖板、连接下主电极的下盖板、位于开关中平面的触发电极盘、在绝缘外筒与触发电极盘之间的内套筒、触发引入杆和气嘴。本发明在降低放电支路电感的同时，改善开关自击穿特性与触发特性，提高开关寿命，利于实现多只开关装配与电气性能的一致性，满足FLTD型等大型脉冲功率源对开关大规模应用需求。