一种基于MEMS传感器的数字开关，本实用新型涉及电路驱动技术领域，解决现有技术其电流源功耗高、稳定性差且现有技术环路振荡器中存在大量脉冲噪声且通用性低等技术问题。本实用新型包括高精度振荡电路，其输出三角波脉冲，包括积分电路，所述积分电路依据积分电流的状态产生三角波输出信号；多电流镜电路，其输出具有固定偏置的电流；单脉冲产生电路，其两个输入端分别连接到所述高精度振荡电路和所述多电流镜电路的输出端、其输出时钟脉冲调制所述三角波脉冲和所述电流且输出交变电流脉冲；缓冲频率匹配电路，接收单脉冲产生电路输出的交变电流脉冲；MEMS传感器阵列，接收缓冲频率匹配电路输出的相关交变电流脉冲。本实用新型用于MEMS传感器驱动开关。