本发明公开了一种具有精密功率检测器的自激式全固态射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器和精密功率检测器，精密功率检测器检测射频功率放大电路输出至负载的入射功率和反射功率；射频信号发生器将根据入射功率和反射功率来调整其输出功率信号的频率，以使得射频功率放大电路输出至负载的反射功率小于入射功率的1％，控制器根据入射功率和反射功率来调整供电线路施加至射频功率放大电路的电压。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小，能够实时保护射频功率放大电路，避免损坏失效。