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专利名称静电激励-压阻检测石墨烯微机械谐振器装置
申请日2018-04-11
申请号/专利号CN201810318398.1
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人邢维巍;孙璐;樊尚春;马翠萍
公告日2018-10-23
公告号CN108696264A
法律状态失效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了静电激励‑压阻检测石墨烯微机械谐振器装置,包括微结构和配套电路。微结构包括梁、衬底、支撑对和电极组。支撑对包括第一支撑和第二支撑;电极组包括多个电极。梁两端固定在支撑对上,平行于衬底上表面设置。电极组设置在衬底上,沿梁轴向线性排列。配套电路包括第一电阻器、第二电阻器、第一基准源、第二基准源、激励源组。激励源组包括多个激励源。电极组与激励源组数目相同。第一电阻器的一端连接第一基准源,另一端连接梁一端;梁另一端连接第二电阻器一端;第二电阻器另一端连接第二基准源;电极与激励源一一对应。本发明包含了谐振器、激励器和检测器三种功能,实现了石墨烯谐振器的电学激励和电学检测。
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