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专利名称一种氧化铝陶瓷基板贯穿孔内填充金属铜的方法
申请日2014-12-23
申请号/专利号CN201410810657.4
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人傅仁利;张鹏飞;费盟;蒋维娜;方军;顾席光
公告日2017-07-11
公告号CN104538313B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种氧化铝陶瓷基板贯穿孔内填充金属铜的方法,包括步骤:(1)于氧化铝陶瓷基板上先进行激光打孔;(2)在氧化铝陶瓷基板上的贯穿孔内壁表面涂敷厚膜铜系浆料于1000℃~1100℃烧结形成铜氧化物层,为孔内填充金属铜做处理;(3)制备略小于孔径的铜柱并将其填充贯穿孔内;(4)随后将整个氧化铝陶瓷基板置于炉中,于300℃下对铜柱进行预氧化处理;(5)在800℃~900℃还原气氛下对氧化铝陶瓷基板整体进行烧结;(6)在铜柱四周涂敷锡银铜钎料并在250℃下进行钎焊,实现铜柱和贯穿孔的气密连接;(7)对氧化铝陶瓷基板表面进行抛光处理,增加氧化铝陶瓷基板的平整度。
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