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专利名称在线射频自动匹配器
申请日2018-04-08
申请号/专利号CN201810304930.4
专利权人常州瑞思杰尔电子科技有限公司
申请人常州瑞思杰尔电子科技有限公司
发明人/设计人杨帆;陈敏
公告日2018-10-12
公告号CN108649923A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种在线射频自动匹配器,用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载,自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达,还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路;射频电源输出端检测电路输入端连接,检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接,增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接,控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。本发明在线性放大器与相位/幅度信号之间各加入一个乘法器,运用正向功率信号对相位与幅度信号的增益进行自动调节,以实现马达驱动增益自动控制,提高射频自动匹配器的匹配速度。
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