本发明涉及一种高精度逐次逼近型模数转换器的电容电压系数校准方法，属于半导体集成电路领域。对电压系数进行校准；根据带电压系数的电容模型得到采样的带电电荷，再根据测试得到的INL值，首先验证INL最大值是否发生在式3所示的地方，然后根据式4得到两个非常接近的二阶电容电压系数，取其平均值为二阶电容电压系数，然后在数字域对其进行校准。本发明能够在不添加模拟校准电路的条件下，基于INL提取电容电压系数，并数字后端对电容电压系数进行校准，提高了ADC的转换精度。