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专利名称 | 调节压电膜的应力状态的方法和使用这种膜的声波器件 |
申请日 | 2018-03-27 |
申请号/专利号 | CN201880022947.9 |
专利权人 | 索泰克公司 |
申请人 | 索泰克公司 |
发明人/设计人 | J-M·贝斯奥谢;Y·斯奎因;D·拉迪森 |
公告日 | 2019-11-19 |
公告号 | CN110476263A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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