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专利名称调节压电膜的应力状态的方法和使用这种膜的声波器件
申请日2018-03-27
申请号/专利号CN201880022947.9
专利权人索泰克公司
申请人索泰克公司
发明人/设计人J-M·贝斯奥谢;Y·斯奎因;D·拉迪森
公告日2019-11-19
公告号CN110476263A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

公开了一种用于调节在室温下具有第一应力状态的压电膜(4)的应力状态的方法,所述方法包括形成组件(1)的步骤,该组件(1)包括具有热膨胀系数的载体(2)、置于该载体上的柔性层(3)以及置于该柔性层上的所述压电膜(4),所述压电膜具有与所述载体的热膨胀系数不同的热膨胀系数。所述方法还包括热处理所述组件的步骤,从而将所述组件升高至高于所述柔性层的玻璃转化温度的处理温度。本发明还涉及一种用于制作声波器件的方法,该声波器件包括其应力状态被调节的压电层。
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