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专利名称弹性波装置
申请日2018-03-15
申请号/专利号CN201880017679.1
专利权人株式会社村田制作所
申请人株式会社村田制作所
发明人/设计人大门克也;谷口康政
公告日2019-11-05
公告号CN110419161A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

提供一种即使在IDT电极的厚度大的情况下也能够充分降低边缘区域的声速的弹性波装置。在弹性波装置1中,在倒速度面为椭圆形的压电性基板2上设置IDT电极3,并设置电介质膜13以使得覆盖IDT电极3,在将IDT电极3中的电极密度(%)设为y(%),将IDT电极3的波长标准化膜厚100h/λ(%)设为x(%)的情况下,根据IDT电极3的电极密度y,IDT电极3的波长标准化膜厚x被设为满足下述的式(1)的x以上,y=0.3452x2‑6.0964x+36.262...式(1),IDT电极3的交叉区域具有交叉宽度方向中央的中央区域、和设置在中央区域的交叉宽度方向一方外侧以及另一方外侧的第1、第2边缘区域,第1、第2边缘区域上的电介质膜13的膜厚被设得比中央区域中的电介质膜13的膜厚薄。
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