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专利名称振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体
申请日2018-03-06
申请号/专利号CN201810182370.X
专利权人精工爱普生株式会社
申请人精工爱普生株式会社
发明人/设计人大槻哲也;井出次男
公告日2018-10-09
公告号CN108631749A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

提供振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体,可减少伴随热应力的变形的影响。振动器件(1)具备:振动元件(10),其具有振动部(12)和固定部(16);支承部件(18),其与固定部(16)接合而支承振动元件(10);和第一基板(32),其与支承部件(18)接合,支承部件(18)具有与第一基板(32)接合的接合部(20),从厚度方向俯视观察振动元件(10)时,在设包含固定部(16)的矩形区域的面积为A1、包含接合部(20)的矩形区域的面积为A2的情况下,满足A1≥A2。
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