本发明公开了一种材料全温度段多场耦合性能的压痕系统，包括驱动装置，用于利用温度得到推动力；压痕装置，用于通过所述驱动系统产生的推动力对被测量材料施加压力；所述压痕装置上设置有第一电极；样品定位装置，用于放置被测量材料的；所述样品定位装置上设置有第二电极；支撑装置，用于为所述驱动装置、压痕装置和样品定位装置提供支撑；所述支撑装置置于透射电镜内；所述驱动装置与所述压痕装置接触；所述压痕装置与所述样品定位装置接间隔第一设定距离；所述驱动装置、压痕装置和样品定位装置固定在所述支撑装置上；所述第一电极和第二电极分别与外部电源连接。本发明还同时公开了一种材料全温度段多场耦合性能的压痕方法。