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专利名称一种具有横向模抑制效果的声表面波滤波器谐振器结构
申请日2018-02-11
申请号/专利号CN201810140332.8
专利权人海宁市瑞宏科技有限公司
申请人海宁市瑞宏科技有限公司
发明人/设计人周一峰;沈旭铭;陈景;吴长春;沈晓燕
公告日2018-06-05
公告号CN108121889A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种具有横向模抑制功能的SAWR结构,利用本发明结构的声表面波谐振器,通过对结构参数的优化设计可以有效抑制SAWR的横向模,从而实现非常高的品质因素。此高性能声表面波滤波器的谐振器结构是由压电单晶基板、以Al或Cu金属材料为主的叉指电极IDT和反射栅、以Al或Cu金属材料为主的汇流排以及Si基完美匹配层构成。所述IDT和反射栅电极的标准化厚度h满足如下关系0.02λ≤h≤0.2λ。孔径w取值范围 20λ≤w≤50λ,假指长度l取值范围2λ≤l≤10λ,孔径间隙g取值范围0.2λ≤g≤0.5λ,金属化比r取值范围0.4λ≤r≤0.8λ,其中λ为谐振波长。本发明提供的SAWR结构通过添加假指和调节假指长度能够有效抑制SAWR器的横向模干扰。
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