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专利名称一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构
申请日2018-02-11
申请号/专利号CN201810141551.8
专利权人海宁市瑞宏科技有限公司
申请人海宁市瑞宏科技有限公司
发明人/设计人周一峰;沈旭铭;陈景;V·S·库尔卡尼;吴长春;沈晓燕
公告日2018-05-18
公告号CN108055017A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

超带宽声表面波滤波器在多个领域特别是通信领域具有巨大的需求,高机电耦合系数的谐振器是设计超带宽声表面波滤波器的关键所在。本发明提供了一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构,结构从上至下包括电极层1、压电基底层2、衬底层3。所述电极层材料为金(Au),铝(Al)或铜(Cu)。所述压电基底层材料为θ度Y切X传掺杂钛酸铅的铌铟镁酸铅三元铁电晶体(YX‑PIMN‑xPT)。所述衬底为碳化硅晶体(SiC),包括3C‑SiC和6H‑SiC。所述电极层标准化厚度为:0.01λ≤he≤0.15λ,λ为声表面波波长。所述压电基底层材料标准化厚度:0.3λ≤hPIMNT≤2λ,欧拉角为:‑90°≤θ≤‑50°和60°≤θ≤90°。
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