本发明公开了一种产生双极性高压脉冲的装置及方法，该装置由高压正脉冲模块和高压负脉冲模块级联而成，并且有多种连接方式。通过控制模块控制高压正脉冲模块和高压负脉冲模块中全部固体开关的导通和关断，决定高压直流电源模块是否对与开关组并联的储能电容进行充电，从而输出周期的、非周期的或者任意数目的双极性高压脉冲，这些双极性高压脉冲的幅值可以由高压正脉冲产生电路级数、高压负脉冲产生电路级数和高压直流电源的改变进行调节。