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专利名称一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器
申请日2018-01-19
申请号/专利号CN201820096098.9
专利权人武汉衍熙微器件有限公司
申请人武汉衍熙微器件有限公司
发明人/设计人廖珮淳;林瑞钦;赵俊武
公告日2018-09-14
公告号CN207869078U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型提供一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器,包括顶电极、压电层和底电极构成的层状结构,以及基板;底电极和基板之间设有反射界面;所述的层状结构的外轮廓为一条曲线和至少一条直线线段连接而成的封闭线型。本实用新型所述的层状结构的外轮廓只有一个曲线面,其它均为平面,从而形成一个非对称的几何图形,使得形成的横向驻波在反射回来时均不在同一位置,从而分散和抵消;本实用新型通过限定层状结构的形状,从而达到抑制横向驻波的目的,没有增加新的工艺,控制了器件的制作成本,使产品开发之效益最大化。
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