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专利名称 | 一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器 |
申请日 | 2018-01-19 |
申请号/专利号 | CN201810051954.3 |
专利权人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
申请人 | 武汉衍熙微器件有限公司 |
发明人/设计人 | 廖珮淳;林瑞钦;赵俊武 |
公告日 | 2020-01-14 |
公告号 | CN108134588B |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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