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专利名称一种传感器
申请日2018-08-06
申请号/专利号CN201810886846.8
专利权人歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院
申请人歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院
发明人/设计人邹泉波;冷群文;王喆
公告日2019-10-22
公告号CN109211281B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种传感器,包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜,检测结构包括第一磁体、第二磁体,以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器;初始位置时,所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置;所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号;还包括调节磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间相互位置的驱动装置。本发明的传感器,通过驱动装置可以微调磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间的相对位置,保证磁阻传感器可以工作在合适的磁场中,避免了因制造、装配误差对传感器灵敏度的影响。
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