一种制造包括一组谐振器RF滤波器的方法，包括以下步骤：(a)获得一个拥有释放层的可移除载体；(b)在可移除载体上增大压电薄膜；(c)添加第一电极到压电薄膜上；(d)在盖体上制备背膜，在背膜和盖体之间具有或不具有预制腔体；(e)把背膜附接到第一电极；(f)拆卸可移动载体；(g)必要时对压电薄膜进行测量和修整；(h)选择性地将压电层蚀刻掉以制造离散压岛；(i)蚀刻涂层、背膜、二氧化硅和硅盖以形成沟槽；(j)将绝缘层应用于沟槽和压电岛上和其周围；(k)在电介质和压电薄膜岛上沉积第二电极层；(l)创建电耦合到转接板的连接；(m)选择性地去除耦合谐振器阵列的第二电极材料。