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专利名称石英谐振器晶片的加工方法
申请日2017-12-29
申请号/专利号CN201711486646.5
专利权人唐山国芯晶源电子有限公司
申请人唐山国芯晶源电子有限公司
发明人/设计人周荣伟;郑玉南;狄建兴
公告日2018-06-29
公告号CN108231999A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种石英谐振器晶片的加工方法,将石英晶片按以下步骤加工处理:Ⅰ.镀金属膜:使用镀膜机在晶片板上全部镀铬,然后镀金,并且最终以薄膜的形式沉积在晶片板表面,镀膜机真空度0.35—0.45Pa,金的溅射功率为0.65kW,铬的溅射功率为0.4kW;Ⅱ.喷雾涂胶Ⅲ.软烘Ⅳ.掩膜对准和曝光;Ⅴ.曝光后烘焙;Ⅵ.显影;Ⅶ.坚膜烘焙;Ⅷ.去除金属膜;Ⅸ.BOE腐蚀。Ⅹ.去除光刻胶;Ⅺ.重复步骤Ⅱ‑Ⅷ;Ⅻ.裂片;ⅩⅢ.腐蚀、清洗;将晶片置于腐蚀机中,通过腐蚀液进行腐蚀,然后冲洗并干燥。本发明突破了机械式研磨晶片厚度限度30μm,约55MHz,而且腐蚀效果更好。
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