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专利名称一种小型化宽带晶体滤波器的加工方法
申请日2017-12-28
申请号/专利号CN201711461997.0
专利权人中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请人中国电子科技集团公司第二十六研究所
发明人/设计人彭胜春;阳皓;唐先莉;米伟;陈仲涛;许卫群;陈冬梅;李菲;李琼;陈映梅;唐平;杨莉
公告日2018-05-22
公告号CN108063602A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种小型化宽带晶体滤波器的加工方法,包括制造一个掩膜版,掩膜版的形状为晶片上两电极区域的形状,先将晶片的两面分别进行镀膜,形成沉积金属,作为全电极,然后再将掩膜版分别覆盖在晶片的两面,在晶片的两面分别进行离子刻蚀,刻蚀掉晶片两面掩膜版遮住的电极区域以外的金属部分,最终形成电极。本发明通过先整体镀电极,再采用离子刻蚀的方法分割电极的方法,能制作出高精度的微细电极形状及电极间距,从而实现较宽的带宽的晶体滤波器,且本方法工艺简单、成本低、效率高、可实现批量生产。
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