本发明公开一种用于快沿脉冲发生器上升时间校准的方法，包括：取样示波器测量被校快沿脉冲发生器波形，测得上升时间τ(y)’；取样示波器作为标准设备，获取上升时间τ(a)’，求得τ(y)’/τ(a)’值；获取修正因子的均值曲线；根据τ(y)’/τ(a)’值和修正因子的均值曲线，查找得到对应的修正因子均值C’以及标准偏差σ’；获得被校快沿脉冲发生器上升时间校准结果τ(x)’＝τ(y)’×C’，不确定度分量u’＝τ(y)’×σ’。本发明方法可用于上升时间小于10ps设备的校准之中，获得误差很小的校准结果，并可给出对应的不确定度。