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| 专利名称 | 致动光刻设备的致动单元的控制装置、具有控制装置的光刻设备及操作控制装置的方法 |
| 申请日 | 2017-12-19 |
| 申请号/专利号 | CN201780086115.9 |
| 专利权人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 发明人/设计人 | S.克朗;L.伯杰;R.基塞尔;P.威杰拉尔斯 |
| 公告日 | 2019-09-27 |
| 公告号 | CN110291463A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本发明涉及一种控制装置(10)，用于致动致动器单元(11)以设定光刻设备(100A、100B)的光学元件(20)的位置(P)，所述控制装置具有：放大器单元(30)，通过电压信号(41)和PWM信号(42)提供致动器单元(11)的控制信号(40)，其中PWM信号(42)具有占空比(43)和时钟频率(51)；以及调制器单元(50)，设计为提供具有占空比(43)和来自多个限定的时钟频率(52)的限定的时钟频率(51)的PWM信号(42)，其中多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)是基本时钟频率(f0)的整数倍，其中基本时钟频率(f0)是在10kHz‑1MHz的范围中并且整数倍限定为乘以因子n。
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