本实用新型公开了一种基于谐波混频的太赫兹功率调谐装置，FPAG控制电路（7）的数字信号输出端与DA转换器的数字输入端连接，DA转换器的模拟量输出端与压控衰减器（2）的电压控制端连接；中频信号产生电路（1）的输出信号端与压控衰减器（2）的信号输入端连接；压控衰减器（2）的信号输出端与谐波混频器（4）的中频输入端连接；本振信号产生电路（3）的信号输出端与谐波混频器（4）的本振输入端连接；谐波混频器（4）射频输出端与滤波器（5）信号输入端连接；滤波器（5）信号输出端与放大器（6）的信号输入端连接；解决了太赫兹频段的功率调谐器件工艺不成熟成本高难以实现大范围功率调谐的问题。