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专利名称一种应用于声表面波滤波器的晶圆级封装结构及封装工艺
申请日2017-12-13
申请号/专利号CN201711330447.5
专利权人中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请人中国电子科技集团公司第二十六研究所
发明人/设计人金中;何西良;杜雪松
公告日2018-05-08
公告号CN108011608A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种应用于声表面波滤波器的晶圆级封装结构及封装工艺,包括滤波器芯片衬底和封装晶圆,在滤波器芯片衬底工作面的外围镀有一圈金膜,封装晶圆上与每块芯片衬底金膜对应位置也分别镀有一圈金膜,滤波器芯片与封装晶圆通过金‑金键合方式结合在一起;在封装晶圆背向芯片工作面那面设有外部电路布线结构和用于与PCB板电连接的金属焊球,封装晶圆上设有导通孔以将芯片工作面电路依次通过导通孔和外部电路布线结构与金属焊球电连接。所述封装晶圆为玻璃材质,所述玻璃材质具有与芯片衬底材料相同或者接近的热膨胀系数。本发明封装更加可靠、效率提高、容易消除器件热失配情况。
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