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专利名称弹性波装置
申请日2017-12-11
申请号/专利号CN201780082505.9
专利权人株式会社村田制作所
申请人株式会社村田制作所
发明人/设计人小柳卓哉;玉崎大辅
公告日2019-08-23
公告号CN110168932A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种能够在IDT电极内容易且可靠地设置中央区域和边缘区域的声速差的弹性波装置。在弹性波装置(1)中,在压电性基板(2)上设置有IDT电极(3)以及第一电介质层(6),IDT电极(3)的第一电极指(3c)和第二电极指(3d)在弹性波传播方向上观察时相互重叠的交叉区域具有:中央区域B;以及第一边缘区域(C)、第二边缘区域(D),在第一电极指(3c)、第二电极指(3d)延伸的方向上配置在中央区域B的两侧,层叠在第一电介质层(6)上的质量附加膜(7)具有至少两种厚度部分。
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