本发明公开一种太赫兹频段三倍频器，包括用于以TE10模的传输模式传输输入信号的输入模块；用于将输入信号转为准TEM模的传输模式，并对该信号进行信号阻抗匹配的第一转换模块；用于对阻抗匹配后的输入信号进行三倍频处理，获得倍频信号的倍频模块；用于将所述倍频信号转为TE10模的传输模式，并对该倍频信号进行输出阻抗匹配的第二转换模块；和用于以TE10模的传输模式输出太赫兹频段的三倍频信号的输出模块。本发明针对太赫兹频段电路小尺寸的特点，将输入模块，第一转换模块，第二转换模块，输出模块与二级管对集成在微带线上，便于电路的重复制造以及二极管对的粘贴，为电路在高频率下工作提供可能，提高了其可靠性与重复制造性。