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专利名称一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器
申请日2017-12-05
申请号/专利号CN201711270965.2
专利权人西安交通大学
申请人西安交通大学
发明人/设计人韦学勇;浦东;徐柳;宦荣华;蒋庄德
公告日2018-05-01
公告号CN107979351A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器,包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁,两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定,使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上;每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的电容极板一个电容极板配合,通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动;两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用,并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小;本发明实现同步,并且利用高阶同步中的频率倍比锁定关系提高作为传感器时的标度因子、灵敏度,从而提高检测精度。
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