本申请公开了一种汞离子微波频标真空制备方法，包括：将所述汞离子微波频标的真空系统封装；对所述封装真空系统检漏和补漏，直至不漏；对检漏后的真空系统利用分子泵组真空预抽；对所述预抽真空系统表面加热至200℃烘烤，同时，通过220V交流电对离子泵烘烤，二者持续烘烤一周；打开离子泵，对持续烘烤的所述预抽真空系统抽真空24±2小时；对所述高真空系统内的真空规和质谱议除气；对钛升华泵除气，停止烘烤；每隔30分钟对钛升华泵接通48A直电流5分钟，反复操作3次，关闭钛升华泵；利用离子泵继续抽取真空24±2小时，得到超高真空系统。本发明可制备真空度为2E‑9Pa量级的超高真空系统，比现有系统提高一个数量级。