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专利名称一种芯片级声表面波滤波器制作方法
申请日2017-11-30
申请号/专利号CN201711232803.X
专利权人深圳华远微电科技有限公司
申请人深圳华远微电科技有限公司
发明人/设计人李善斌;张少华;刘绍侃;王宁;蒋燕港
公告日2018-05-15
公告号CN108039873A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及芯片制作方法领域,一种芯片级声表面波滤波器制作方法,清洗工艺,压电材料的清洗;镀膜工艺,在压电材料表面镀金属膜;涂布工艺,在金属膜表面均匀的涂一层正性光刻胶;S4、光刻工艺,紫外光透过光刻版照射到下方光刻胶,光刻胶发生化学反应形成槽;显影工艺,在光刻胶上涂显影液,接触到紫外光的光刻胶与显影液反应,被去除;刻蚀工艺;保护层钝化;涂布工艺;显影工艺;刻蚀工艺;电镀工艺等工艺。通过增加保护层完成产品的钝化,解决了后续产品工艺划伤的隐患,大大提高了产品的防水防尘效果,并以此为基础,叠加光刻版版图的防静电条制作,应用电镀完成产品的凸焊点的制作,减少了传统的需要叠加剥离工艺与植金球的复杂程度。
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