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专利名称体声波谐振器
申请日2017-11-28
申请号/专利号CN201711211798.4
专利权人三星电机株式会社
申请人三星电机株式会社
发明人/设计人韩源;林昶贤;金龙石;韩昇勋;李成俊;尹湘基;金泰润
公告日2018-06-05
公告号CN108123695A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:膜层,与基板一起形成腔;下电极,设置在所述膜层上;压电层,设置在所述下电极的平坦表面上;以及上电极,覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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