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专利名称一种采用压电单晶箔的固贴型薄膜体声波谐振器及制备方法
申请日2017-11-27
申请号/专利号CN201711203835.7
专利权人中电科技德清华莹电子有限公司
申请人中电科技德清华莹电子有限公司
发明人/设计人陈培杕;刘敬勇;黄润华;於保伟;程胜军
公告日2018-03-13
公告号CN107800396A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明的目的是提供一种采用压电单晶箔制作固贴型薄膜体声波谐振器的技术方案,所述压电单晶箔固贴型薄膜体声波谐振器由具有布拉格声波反射结构层的衬底,上下金属电极夹持压电体形成的三明治有源结构组成,所述压电体是压电单晶箔。本发明的优点有:1.压电单晶箔,晶体完整性未被破坏,为完美单晶;2.可以自由选择晶体及其晶向,优化器件性能;3.可以自由选择衬底材料,优化器件性能。
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