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专利名称一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法
申请日2017-11-22
申请号/专利号CN201711179959.6
专利权人中国科学院微电子研究所
申请人中国科学院微电子研究所
发明人/设计人梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青
公告日2018-02-23
公告号CN107733393A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法。通过使用多个接收换能器,来实现多频信号的输出;利用发散状叉指发送换能器,来减小器件的插入损耗及实现激励的声表面波带宽的展宽;利用刻蚀的方法,在压电衬底中形成声子晶体点阵,声子晶体点阵不易受外部应力损坏,延长了器件的使用寿命;利用在声子晶体点阵与接收换能器之间插入栅阵列,来进一步增强了器件的滤波特性;通过在器件表面生长一层二氧化硅温度补偿层,来抑制器件的温漂特性。
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