本公开涉及具有超调误差积分的弛张振荡器。弛张振荡器可以在各种应用中为晶体振荡器电路提供更小和更便宜的替代方案。锯齿弛张振荡器可以包括超调误差积分。使用用于第一和第二振荡电容器的单独比较器，可以提供单独和独特的振荡器电容器充电、超调误差积分和复位阶段。潜在的优点可包括高精度高频时钟、初始校准期间方便的调整、相对于温度和时间的时钟频率稳定性、低超调快速启动、高电源抑制、低功耗或低噪声/抖动。振荡器可以将振荡电容器充电至目标电压，然后在开始误差积分阶段之前中断充电，通过积分振荡电容器上的电压的超调误差来调整目标电压。在完成超调误差积分后，振荡电容器上的电压可以重置。所描述的技术被认为能够改善时钟频率精度和其他特性。