本发明提供了一种速度可调氢自由基束源的产生方法，包括：利用脉冲阀超声射流产生母体分子束源，所述母体分子束源包括氢卤酸分子；利用激光器产生波长连续可调的真空紫外光解光，以通过所述光解光对所述母体分子束源进行光解，形成第一氢自由基束源和第二氢自由基束源，所述光解光与所述母体分子束源垂直交叉作用，所述第一氢自由基的主要分布方向与所述光解光的偏振方向垂直，所述第二氢自由基的主要分布方向与所述光解光的偏振方向平行；所述氢自由基速度可调是通过光解波长连续可调来实现的；利用漏勺对所述第一氢自由基束源或第二氢自由基束源进行准直，从而可以获得所需的高质量的氢自由基束源。