本发明公开了一种用于多点光谱探测的三维自扫描装置，包括光学反射系统、光学聚焦单元、电控三维平移系统、光学成像系统、计算机控制单元；光学反射系统用于将探测光反射，并经光学聚焦单元聚焦后照射到样品表面；电控三维平移系统用于带动光学反射系统和光学聚焦单元移动，以调整光学反射系统和光学聚焦单元与固定样品之间的相对位置，使探测光以移动的方式照射到样品表面各个位置上；光学成像系统用于接收由样品表面反射过来的光线并进行成像，获得样品表面形貌图像；计算机控制单元用于控制电控三维平移系统和光学成像系统工作。本发明能实现光谱探测光的自扫描，克服了现有光谱mapping功能依赖于样品台移动而无法分析固定或大型样品的问题。