一种腔长可调型MEMS法布里珀罗腔，包括固定镜面，固定镜面上方和腔体下端连接，腔体上端和可动镜面下方连接，形成三层结构，采用MEMS体硅工艺加工；可动镜面包括可动结构，可动结构上方设有上层增透膜和上层电极，可动结构下方设有上层增反膜；固定镜面包括固定结构，固定结构下方设有下层增透膜，固定结构上方设有下层增反膜和下层电极；可动结构采用MEMS体硅工艺加工，可动结构包括基座，基座通过梁式弹簧和横向稳定质量块外侧连接，横向稳定质量块内侧通过梁式弹簧和中心质量块连接，横向稳定质量块为分体式块状结构，由四个L型分质量块呈中心对称分布构成；本发明具有光学精细度高、腔长调节精度高、加工难度小、成品率高的优点。