一种偏振分束器，包括SOI衬底层和波导层，其中，SOI衬底层，包括底部Si材料层和制作在底部Si材料层上的二氧化硅填埋层；波导层，制作在所述二氧化硅填埋层上方，包括输入波导、TM模式耦合波导和TE模式耦合波导；其中，输入波导包括底层波导和介质盖层；所述波导层通过将TE波和TM波分别限制在TE模式耦合波导和TM模式耦合波导，从而实现对所述输入波导中的不同偏振模式的光进行分离。本发明采用三波导结构的波导层，包括输入波导、TM耦合波导以及TE耦合波导，通过将TE和TM模式分别限制在两侧波导中，从而实现对输入波导中不同偏振态的分别耦合，消除输入波导残留模式对器件性能的影响。