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专利名称一种制备强诱导CD结构及其制备方法
申请日2019-11-28
申请号/专利号CN201911190084.9
专利权人陕西师范大学
申请人陕西师范大学
发明人/设计人白瑜;景志敏;李颖;张梓彦;李琪;张中月
公告日2020-03-06
公告号CN110865428A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种制备强诱导CD结构的方法,包括如下步骤:步骤一、准备导电玻璃,清洗后备用;步骤二、在导电玻璃上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯;步骤三、在聚甲基丙烯酸甲酯上铺设小球;步骤四、用电子束蒸发镀膜仪在垂直于聚甲基丙烯酸甲酯的方向上进行蒸镀金膜,得到带孔的金膜步骤五、用胶带粘贴,将所铺设的小球去除;步骤六、采用氧等离子刻蚀击穿聚甲基丙烯酸甲酯层,形成到导电玻璃的穿孔;步骤七、采用真空蒸发镀膜机,在垂直方向上,蒸镀金属;步骤八、去除步旋涂聚甲基丙烯酸甲酯层,得到所制备的诱导圆二色性结构;该制备强诱导CD结构的方法,能够大面积的制备三维金属微纳结构,所制备的诱导圆二色性结构,诱导圆二色性信号效率高。
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