便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称二维静电扫描微镜
申请日2019-11-28
申请号/专利号CN201911187892.X
专利权人无锡微视传感科技有限公司
申请人无锡微视传感科技有限公司
发明人/设计人孙其梁;程进;徐乃涛;李宋泽
公告日2020-01-17
公告号CN110703430A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种二维静电扫描微镜,包括外边框、内边框和镜面,外边框上加工有外框隔离槽,将外边框分隔为外框测量部、外框驱动部和两个外框连接部;外框测量部和内边框之间具有外反馈梳齿组,外框驱动部和内边框之间具有外驱动梳齿组,镜面加工有镜面隔离槽,将镜面分隔的镜面反馈部、镜面驱动部和中心部;镜面反馈部和镜面驱动部分别与内边框之间加工有内反馈梳齿组和内驱动梳齿组。通过在外边框和镜面设置不同结构的隔离槽,将外边框和镜面分隔为不同的功能部分,将内外梳齿组分别设置为驱动梳齿组和反馈梳齿组,可以实现对镜面在两个方向偏转角度的测量,可以实时反馈镜面在不同方向的偏转角度,并提高镜面偏转角度控制的精确性。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层