本发明提供了一种TFT阵列基板、其制备方法及其显示面板。其中所述TFT阵列基板，其包括基板。所述基板上依次设置有缓冲层和TFT功能层。其中所述TFT功能层包括依次设置在所述缓冲层上的有源层(Active)、栅极绝缘层(GI)、栅极层(GE)、层间绝缘层(ILD)和源漏极层(SD)。其中所述源漏极层上设置有无机绝缘层，所述无机绝缘层上还依次设置有BITO层、钝化层(PV)和TITO层。本发明提供了一种TFT阵列基板，其采用新型的功能层结构设计，能够有效的降低了所述TFT阵列(Array)基板的生产成本和周期。