本发明提供一种硅光光模斑模式转换器及其制造方法，包括二氧化硅悬臂、过渡波导、主波导、硅衬底、第一包层、第二包层、第三包层，所述第一包层置于所述硅衬底上方，所述主波导置于第一包层上方，所述主波导与过渡波导中间为第二包层，所述过渡波导上设置第三包层；所述二氧化硅悬臂接于过渡波导外侧，所述二氧化硅悬臂光路中心与所述过渡波导光路中心在同一纵向截面；所述二氧化硅悬臂宽度和厚度沿输入光路方向逐渐减小。可以解决硅基光电子芯片与光纤或激光器的光模斑不匹配，导致的耦合效率低的问题，能有效提高硅光芯片与外界光源/光纤的耦合效率。