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专利名称一种液晶成像光刻装置
申请日2019-11-14
申请号/专利号CN201911111358.0
专利权人南京特斯富电子有限公司
申请人南京特斯富电子有限公司
发明人/设计人周春铭;罗一鸣;刘萍
公告日2020-02-21
公告号CN110824860A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种液晶成像光刻装置,包括机体,所述机体内部上下方向依次安装有曝光光源、平行光聚焦透镜、冷空气流动层、LCD液晶屏和光刻面板,其中,所述光刻面板上表面贴敷有均匀覆盖膜胶层,所述冷空气流动层与所述LCD液晶屏之间设有滤波片,所述LCD液晶屏与所述感光膜间设有高精度聚焦成像透镜模组,所述冷空气流动层横嵌在在所述机体内部,所述冷空气流动层与所述机体外部相通并通过管道连接到气体装置,所述LCD液晶屏电连接到所述上位机。本发明提供一种液晶成像光刻装置,加入可选择光波段的LED高准直平行光光刻系统,可以直接对需要运用图像转移的感光涂层进行高精度,高转换效率,以及环保无污染和零库存的生产和运作。
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