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专利名称基于高折射率材料的超分辨聚焦装置
申请日2019-11-13
申请号/专利号CN201911104030.6
专利权人南京大学
申请人南京大学
发明人/设计人张伟华;王中
公告日2020-01-10
公告号CN110673353A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种基于高折射率材料的超分辨聚焦装置。该装置包括光源、聚焦元件和类透镜聚焦结构,光源发出的光束先经过聚焦元件初步聚焦为聚焦光或者平行光后,再入射到类透镜聚焦结构进一步聚焦,在类透镜聚焦结构的聚焦面处形成亚波长尺寸的聚焦光斑;类透镜聚焦结构的材料采用折射率大于3的材料。本发明的装置可以将聚焦光斑缩小至λ/10,利用径向偏振光照明方式可以进一步提高聚焦光斑的焦深,同时聚焦光斑尺寸可以保持λ/8,且焦深可达到λ/5,有望用于纳米尺度超分辨光刻技术、成像以及数据存储等领域。
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