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专利名称一种压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法
申请日2014-06-13
申请号/专利号CN201410265336.0
专利权人江苏英特神斯科技有限公司
申请人浙江工业大学
发明人/设计人董健;蒋恒;孙笠
公告日2017-04-12
公告号CN104089642B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法,所述的传感器同时集成了压阻式加速度传感器和压阻式压力传感器,并且具有第一键合玻璃?硅基?第二键合玻璃三明治结构;本发明压阻式加速度、压力集成传感器结构新颖、重量轻、体积小、稳定性好、抗污染能力强;此外,本发明中,同一片芯片上使用相同的工艺,不同的设计来实现压力测量和加速度测量这两种能力,工艺流程简单易行;本发明压阻式加速度、压力集成传感器在航空航天、军事、汽车、环境监测等领域具有一定的应用前景。
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