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专利名称基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计
申请日2014-05-30
申请号/专利号CN201410239300.5
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人周震;史杰;冯丽爽;杨功流
公告日2016-07-06
公告号CN104049107B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计,该加速度计包括有谐振器、质量块、正电极、负电极、安装框、隔离框、固定框和连接臂;正负电极为覆铜在谐振器、固定框、连接臂和安装框上,质量块与固定框之间是谐振器。本发明设计的石英振梁加速度计,采用竖梁、横梁及T型梁的结构形式,从而使谐振器具有测量温度信息的功能,三梁结构在敏感轴方向的等效刚度很低,可实现高灵敏度的加速度测量。在非敏感轴方向的等效刚度很大,有效抑制非敏感轴方向上力的干扰。从结构设计上可消除两个差动结构谐振器间的机械耦合,消除加速度计的检测盲区,提高石英振梁加速度计的检测精度。
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