一种表贴焊点IMC热疲劳概率故障物理模型建立方法，步骤如下：一、确定IMC生长物理模型；二、确定表贴焊点热疲劳寿命与IMC厚度之间的物理模型；三、确定IMC厚度分布的概率密度函数μ(δ)；经以上三个步骤，通过界面金属间化合物即IMC这个纽带，直接建立表贴焊点可靠性与表贴焊点加工工艺、工作条件之间的函数关系，考虑到IMC厚度的分散性，对不同产品或者相同产品的不同批次进行了离散化处理，给出表贴焊点IMC热疲劳概率故障物理模型。本发明直接建立了表贴焊点可靠性与工艺条件之间的关系，为改进生产焊接工艺，改善表贴焊点工作环境，延长表贴焊点热疲劳寿命，提高焊接电子产品可靠性提供了依据。