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专利名称一种激光清洗的对焦方法及装置
申请日2019-06-28
申请号/专利号CN201910573495.X
专利权人清华大学
申请人清华大学
发明人/设计人巩马理
公告日2019-08-23
公告号CN110153108A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明实施例提供一种激光清洗的对焦方法及装置,该方法包括:利用具备第一波长的对焦光束对清洗激光的聚焦焦点与被清洗物体表面的距离进行测量给出离焦信息;对焦光束对激光清洗附属产物具备最大穿透率,利用对焦光束给出离焦信息,转换成电信号,并作为自动调焦控制单元的误差信号驱动清洗透镜移动进而进行调焦控制。本发明实施例提供的激光清洗的对焦方法及装置,通过利用与清洗激光的波长不同、且对激光清洗附属产物具备最大穿透率的对焦光束获取离焦信息,实现了离焦信息的可靠提取,具备高信噪比;利用得到的离焦信息进而进行调焦控制,可以使清洗激光在扫描清洗物体表面时的光斑焦点,始终位于物体表面,达到良好的清洗效果。
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