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专利名称一种石墨烯导电薄膜的制备方法及薄膜晶体管
申请日2019-06-28
申请号/专利号CN201910575383.8
专利权人滁州惠科光电科技有限公司;北海惠科光电技术有限公司
申请人滁州惠科光电科技有限公司;北海惠科光电技术有限公司
发明人/设计人夏玉明;卓恩宗
公告日2019-10-11
公告号CN110323270A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种石墨烯导电薄膜的制备方法及薄膜晶体管,通过制备阳极氧化铝模板,利用原子层沉积技术在模板中制备金属催化颗粒,通过孔道有序调节与控制金属催化颗粒的排布情况及填充厚度,提高生产效率;再对金属催化颗粒进行加热退火处理获得厚度均匀的金属催化薄膜,从而使金属催化薄膜作为石墨烯纳米线生长的载体和催化剂,使石墨烯纳米线均匀可控地生长;再去除阳极氧化铝模板和金属催化薄膜后获取石墨烯纳米线成膜液,将石墨烯纳米线成膜液沉积在基板上,获得厚度均匀稳定的石墨烯导电薄膜,从而提高石墨烯导电薄膜的可控性和生长效率,实现更高的透明性和导电性。该方法制备的石墨烯纳米线易于控制且密度高,适合工业化使用。
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