本发明提出了一种随动式电解加工阵列微小凹坑的方法，属电解加工技术领域。该方法首先是制作工具阴极，工具阴极由金属工具与带有贯穿群孔结构的掩模板组成，工件阳极、工具阴极分别与电源正负极连接，将工件阳极浸入到电解液中，将工具阴极与工件阳极表面紧密贴合，接通电源进行电解加工；一次电解加工结束后，切断电源将工具阴极抬起，工件阳极表面电解液得到更新，再将工具阴极与工件阳极表面紧密贴合，接通电源进行电解加工。如此周期性地将工具阴极抬起、落下，电解加工。利用本发明工具阴极与工件阳极紧密贴合，产生的气泡堆积在微坑侧壁，可以有效地减弱加工区域周围的杂散腐蚀，显著提高电解加工的定域性和微细加工能力。