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专利名称一种高端口数目的MEMS光开关
申请日2019-06-27
申请号/专利号CN201920982660.2
专利权人武汉嘉迅光电有限公司
申请人武汉嘉迅光电有限公司
发明人/设计人龚磊
公告日2020-02-07
公告号CN210038236U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开一种高端口数目的MEMS光开关,包括壳体,所述壳体内部设有二维光纤阵列、组合透镜元件和MEMS微镜;所述二维光纤阵列包括一个光纤输入端口和多个光纤输出端口;所述组合透镜元件包括准直透镜一和准直透镜二;所述MEMS微镜包括微型反射镜和微机电系统,所述微机电系统用于调节微型反射镜在水平面和竖直平面内转动;光信号从所述光纤输入端口输入,依次穿过准直透镜一、准直透镜二,被MEMS微镜反射后,再依次穿过准直透镜二、准直透镜一,耦合进光纤输出端口输出。本实用新型采用组合透镜来代替现有的单准直透镜,且组合透镜之间的相对位置可以调节,极大地优化了光学系统的像差,提升了光纤阵列的横向扩展尺寸,可实现更高端口数目的MEMS光开关。
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